光学薄膜反射率和透过率测量-光谱分析测试系统原理

作者：发布时间：2023-09-12 10:54:45点击：526

透射率与反射率是光学薄膜器件最基本的光学特性，因此，薄膜器件透射率与反射率的测试是光学薄膜的基本测试技术。薄膜的透射率与反射率主要采用光谱测试分析仪进行测试。

作为光谱仪的一种，用于光学薄膜测试的光谱仪可以按照测试波段的不同分成紫外-可见分光光度计、红外分光光度计以及红外傅里叶光谱仪等。前两者采用光谱分光原理的分析测试系统，后者则基于干涉原理的光谱分析系统。由于薄膜器件几何结构与形状的不同，虽然都是透射率与反射率的测量，但是对于不同几何形状的样品，或不同的准确度，或不同的偏振要求，就可能需要不同的测试方法与技术。这些都要求我们必须对薄膜的透射/反射的基本测试方法与测试技术有一个较好的理解。